哪些行業(yè)需要用到愛發(fā)科真空泵油？
文章出處：鑫泉真空 人氣：發(fā)表時間：2020-10-21 14:48:59
目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用愛發(fā)科真空泵油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發(fā)展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器；其次，由于某些工藝過程中的反應物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì)，使泵不能正常工作。
對于普通的無油真空系統(tǒng)愛發(fā)科真空泵油來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。
愛發(fā)科真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面
1. 用作一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。
2. 低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝。
3. 在化學工業(yè)，醫(yī)藥工業(yè)，食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要 防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。
4. 半導體刻蝕工藝，在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。
5. 除半導體工藝外的某些產(chǎn)生微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出 泵外，則用一定的型式的干式機械真空泵可以滿足要求。
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